Электроника НТБ #3/2023
М. Макушин
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА: РАЗВИТИЕ ПРОИЗВОДСТВЕННОЙ БАЗЫ, ПРОДАЖИ ОБОРУДОВАНИЯ И EUV-ЛИТОГРАФИЯ
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.224.3.116.129 Расширение применения ИС и других полупроводниковых приборов как в традиционных для них областях, так и в новых сферах ведет к расширению производственной базы и увеличению закупок оборудования для производства с использованием перспективных процессов с минимальными проектными нормами.