Электроника НТБ #1/2024
А. Хисамов, А. Назаренко
МИНИФАБЫ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ: ИСТОРИЯ И ВОЗМОЖНОСТИ
DOI: 10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69 В последнее время в России и за рубежом был создан ряд проектов минифабов для микроэлектронного производства. В статье рассмотрена концепция минифабов и перспективы реализации проектов в этой области.