Электроника НТБ #5/2024
В. Соляник, А. Мирошниченко
ВЛИЯНИЕ СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ТОНКИХ ПЛЕНОК ОСМИЯ НА ЭМИССИОННУЮ СПОСОБНОСТЬ И ДОЛГОВЕЧНОСТЬ КАТОДА
DOI: 10.22184/1992-4178.2024.236.5.98.104 В статье представлен обзор исследований влияния основных параметров металлопористых катодов на их эмиссионную способность и долговечность. Особое внимание уделено тонким пленкам, покрывающим эмиссионную поверхность катода. Рассмотрены режимы ионно-плазменного нанесения тонких пленок и методы исследования физических свойств тонких пленок.