Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега - реакционно-ректификационная установка

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "реакционно-ректификационная установка"

Электроника НТБ #7/2024
С. Дубяга, И. Козырев
ВАЖЕН КАЖДЫЙ АТОМ: ПРИМЕНЕНИЕ ВЫСОКОЧИСТЫХ ГАЗОВ В МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

DOI: 10.22184/1992-4178.2024.238.7.190.191 ООО «Фирма «ХОРСТ» является основным поставщиком высокочистой газовой продукции для микроэлектронной промышленности России и Беларуси, располагая собственными производственными мощностями. В статье рассмотрены особенности технологий получения и глубокой очистки газов, применяемых в производстве полупроводниковых материалов.