Электроника НТБ #8/2024
М. Макушин
EUV-ЛИТОГРАФИЯ: ЧТО ОЖИДАЕТСЯ В 2025 ГОДУ?
DOI: 10.22184/1992-4178.2024.239.8.112.119 В ближайшее десятилетие EUV-литография будет использоваться для формирования топологических элементов, измеряемых в нанометрах и ангстремах. Рассматриваются методики однократного и многократного формирования рисунка.