Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега - мэмс, технология плазмохимического травления

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "мэмс, технология плазмохимического травления"

Электроника НТБ #2/2013
И.Бармашов
Плазмохимическое травление в технологии изготовления МЭМС-датчиков

Благодаря разнообразной конструкции и назначению МЭМС стремительно входят в нашу повседневную жизнь. Можно сказать, что MEMС – это множество микроустройств самой разной конструкции и назначения, в производстве которых используются модифицированные технологические приемы микроэлектроники.