Электроника НТБ #4/2013
Е.Борисов
Микроэлектромеханические системы. Настоящее и будущее
Прогресс в области создания микроэлектромеханических систем (МЭМС) не стоит на месте, и мировая научная мысль продолжает свой стремительный полет к новым достижениям. Так что же ожидает в ближайшее пятилетие мировое сообщество разработчиков в сфере производства микросистемотехники? Именно на этот вопрос мы постараемся найти ответ в данной статье.