Электроника НТБ #7/2024
В. Иванов
СПРЕЕВОЕ НАНЕСЕНИЕ ФОТОРЕЗИСТА ДЛЯ СОЗДАНИЯ РАВНОМЕРНОЙ ПЛЕНКИ В ПОЛОСТЯХ
DOI: 10.22184/1992-4178.2024.238.7.182.188 Исследовался метод получения покрытий с помощью системы спреевого нанесения, были оптимизированы параметры процессов, такие как скорость вращения столика, скорость перемещения форсунки, поток смеси, угол наклона форсунки и т.д.
Наноиндустрия #5/2013
О.Паренаго, О.Покровский, К.Устинович
Сверхкритические флюиды для создания наноматериалов
Описано применение сверхкритических флюидов (СКФ) для формирования наноматериалов. Сочетание газоподобных и жидкоподобных свойств делает эти материалы удобным инструментом получения микро-, наночастиц и наноструктурированных объектов. Управляемая растворяющая способность СКФ, отсутствие поверхностного натяжения, возможность избавления от растворителя при использовании сжатого газа в качестве рабочей среды – характеристики, с упором на которые разрабатываются современные методы синтеза нанообъектов.