Электроника НТБ #2/2017
И.Васильев
Зондовые измерения параметров полупроводников: комплексные решения
Рассмотрены комплексные решения для выполнения зондовых измерений параметров полупроводников. Отмечено, что на базе оборудования компании EverBeing можно построить автоматизированный измерительный комплекс, удовлетворяющий современным требованиям, предъявляемым к зондовым измерениям. DOI: 10.22184/1992-4178.2017.162.2.72.77
Аналитика #5/2013
К. Понкратов
Исследование полупроводниковых материалов методом конфокальной рамановской микроскопии
Компания Renishaw (Великобритания) – мировой лидер в области промышленной метрологии, контроля перемещений, спектроскопии и прецизионной обработки. Конфокальный рамановский микроскоп inVia, выпускаемый компанией, объединяет в себе все новейшие технологии в полном соответствии с девизом компании – Apply Innovation. В статье приводятся примеры использования микроскопа для исследований качества пластин полупроводников.