Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2025
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "gas sensors"

Фотоника #1/2025
Л. А. Мочалов, С. В. Телегин, Е. А. Слаповская
Получение тонких пленок IGZO с помощью метода PECVD и исследование их свойств

DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2025.19.1.62.70 В настоящей работе впервые для получения тонких пленок состава InGaZnO (IGZO) различной стехиометрии, морфологии и фазового состава использовался метод плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD). Пленки синтезировались с помощью установки, подробно описанной нами в работах [1–5]. Исходными веществами являлись элементарные высокочистые In, Ga и Zn, газами-носителями – Ar и H2, а в качестве плазмообразующего газа использовали смесь (Ar-H2-O2). Осаждение проводили на подложки из покровного стекла. Методом энергодисперсионного рентгеновского анализа был определен макросоcтав образцов. Полученные образцы были также исследованы методами сканирующей электронной (СЭМ), атомно-силовой микроскопии (АСМ) и оптической профилометрии. По измерениям эффекта Холла были определены электрические свойства полученных пленок: тип, подвижность и концентрация носителей.

Электроника НТБ #2/2014
А.Большаков, И.Сердюк, М.Карякин
Газовая и пожарная безопасность. Сенсоры и приборы ОАО "Авангард"

Приводятся результаты разработки ОАО "Авангард" полупроводниковых газовых сенсоров и приборов на их основе, проводимой в кооперации с Минским НИИРМ.