Электроника НТБ #2/2014
В.Шурыгина
Радиочастотные МЭМС + КМОП. Отработанная технология, готовая к часу пик
Совершенствование полупроводниковой технологии привело к возможности интеграции МЭМС и КМОП-микросхем обработки данных для создания систем с расширенными функциональными возможностями. Какие сейчас существуют технологии создания РЧ МЭМС + КМОП-устройств?