Электроника НТБ #4/2014
И.Баранник, Ю.Белогубов, Н.Иванов
Центр микросистемотехники Передовые инженерные решения
Рассматриваются принципы проектирования и строительства чистых производственных помещений российско-белорусского центра микросистемотехники (МСТ). За основу были взяты передовые отечественные и зарубежные решения в области построения инженерных систем обеспечения микроклимата и подготовки технологических сред.