Электроника НТБ #3/2015
Ж.-Ф.Пиел
Cпектроскопическая рефлектометрия – эффективный метод исследования многослойных структур
О реализации и возможностях спектроскопической рефлектометрии рассказывает в статье д-р Жан-Филипп Пиел, менеджер по развитию метрологии французской компании Fogale nanotech.