Электроника НТБ #9/2022
Ш. Шугаепов, Е. Ермолаев, В. Егошин, С. Дорофеева
МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИЕ КОРПУСА АО «ЗПП» ДЛЯ ПАВ-ФИЛЬТРОВ
DOI: 10.22184/1992-4178.2022.220.9.78.81 Рассмотрены металлокерамические корпуса АО «Завод полупроводниковых приборов» (АО «ЗПП») для ПАВ-фильтров. Приведена информация об особенностях и характеристиках этих корпусов.
Наноиндустрия #3/2015
М.Зейнер, К.Гюндель, Т.Дунгер, М.Деммлер, М.Нестлер
Ионно-лучевой тримминг в производстве устройств на акустических волнах
Качество фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ) и объемных акустических волнах (ОАВ) зависит от геометрии слоев, причем погрешности должны лежать в субнанометровом диапазоне. В статье описывается технология, отвечающая указанным требованиям. Для корректировки размеров слоев используется фокусированный ионный луч и система перемещения обрабатываемой пластины. DOI:10.22184/1993-8578.2015.57.3.34.39