Электроника НТБ #3/2024
А. Усатов, П. Ляхов
КАК СОЗДАТЬ ЧИСТОЕ ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ПОМЕЩЕНИЕ. ТЕХНОЛОГИИ И ОБОРУДОВАНИЕ
DOI: 10.22184/1992-4178.2024.234.3.216.222 Чистые помещения в электронной промышленности играют ключевую роль при обеспечении высокого качества изделий. В статье рассматриваются технологические решения и оборудование при создании чистых помещений и локальных чистых зон в высокотехнологичных отраслях промышленности.
Наноиндустрия #3/2011
В.Надоленко
Устройство фальшполов и антивибрационных фундаментов в чистых помещениях
Что нужно сделать, чтобы построить чистое помещение по ГОСТ ИСО 14644–1? Несомненно, в перечень используемой продукции входят сэндвич-панели для стен, модульные потолки, системы подготовки и рециркуляции воздуха, контроля и мониторинга и т. д. Необходимо также уделить внимание фальшполу – не самому сложному, но далеко не дешевому компоненту. Термин "система фальшполов", несмотря на внешнюю простоту конструкции и инсталляции, употребляется не случайно, поскольку, если говорится о помещении, а не о единичном боксе, чистота выше класса 5 по ИСО без установки перфорированных плит просто недостижима.