Электроника НТБ #4/2015
С.Кузьмин, В. Матвеев
Технология наноструктурирования материалов синхротронным излучением
На примере изготовления нанофильтров рассмотрены технологические принципы формирования упорядоченных наноструктур с помощью решеточной интерференционной схемы, ондуляторного излучения и многоуровневой мембранной технологии.