Электроника НТБ #4/2015
А.Брыкин, А. Артемов, Д. Арсеньева
Электроконденсационный метод синтеза кремния, углерода и карбида кремния
В статье рассмотрены особенности электроконденсационного метода синтеза кремния, углерода и карбида кремния, не требующего сложного и дорогостоящего оборудования и позволяющего снизить затраты, улучшить экологические показатели и безопасность производства. Проводится сравнение с другими известными способами получения этих материалов.