Электроника НТБ #4/2015
А.Ляпин
Визуализация тонких структур – современные технологии. Часть 1
О возможностях и особенностях различных широко используемых методов микроскопии для визуального контроля тонких электронных и механических структур, как в процессе производства, так и при отработке технологий, рассказывается в статье.