Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "nanofab-100"

Электроника НТБ #1/2024
А. Хисамов, А. Назаренко
МИНИФАБЫ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ: ИСТОРИЯ И ВОЗМОЖНОСТИ

DOI: 10.22184/1992-4178.2024.232.1.64.69 В последнее время в России и за рубежом был создан ряд проектов минифабов для микроэлектронного производства. В статье рассмотрена концепция минифабов и перспективы реализации проектов в этой области.

Электроника НТБ #9/2014
В.Быков, А.Гудков, А.Козлитин
ЦЕНТР ВЫСОКИХ ТЕХНОЛОГИЙ ФГУП "НИИФП им. Ф.В.ЛУКИНА": ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ И ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРО- И НАНОСТРУКТУР

В данной публикации представлен Центр высоких технологий ФГУП "НИИФП им. Ф.В.Лукина" как мощный научно-технологический комплекс, предназначенный для развития современной элементной базы наноэлектроники и МЭМС. Показана структура Центра, его функциональные возможности и перспектива развития. В статье дан краткий анализ тенденций развития микро- и наноэлектроники. Дано описание кластерного технологического комплекса НАНОФАБ-100, а также назначение и функциональные возможности отдельных аналитических и технологических модулей. Описаны аналитические возможности Центра коллективного пользования и перечислены методы исследования различных гетероструктур, используемые при разработке элементной базы наноэлектроники. Показана перспективность и необходимость использования синхротронного излучения синхротрона "Зеленоград" при решении задач по исследованию различных наноэлектронных структур и при производстве интегральных схем с использованием методов рентгеновской нанолитографии.