Электроника НТБ #9/2014
С.Кузьмин, В.Матвеев
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ СИНХРОТРОННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ОБРАБОТКИ БИОМЕДИЦИНСКИХ МАТЕРИАЛОВ
Обсуждается возможность управления химическими реакциями посредством синхротронного излучения и создания наноструктурированных биомедицинских материалов и гибридных бионеорганических структур. Синхротрон для этих целей является универсальным инструментом, обес- печивающим технологическую триаду: собственно технологию, аналитику и метрологию.
Электроника НТБ #9/2014
С.Кузьмин, В.Матвеев, В.Мишачёв
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННАЯ РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ УПОРЯДОЧЕННЫХ НАНОСТРУКТУР
Рассмотрены принципы формирования упорядоченных наноструктур с помощью решеточной интерференционной рентгенолитографии. Подробно описывается способ изготовления упорядоченного полимерного нанофильтра с размерами элементов до 1 нм путем фотостимулированного травления тонкой полимерной пленки пространственно-структурированным синхротронным излучением. Обсуждаются технологические аспекты создания периодических металлических наноструктур методами интерференционной рентгенолитографии и многоуровневой мембранной технологии.