Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "полупроводниковые пластины"

Электроника НТБ #9/2020
А. Скупов
СВАРКА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН ЧЕРЕЗ ПОЛИМЕРЫ

DOI: 10.22184/1992-4178.2020.200.9.158.162 Описаны основные подходы к сварке (сращиванию) полупроводниковых пластин через полимерные материалы. Приводится обзор приложений, где может применяться этот процесс. Акцент делается на выборе материалов для данного процесса, а также на особенностях его проведения.

Печатный монтаж #2/2017
О.Симонов
Использование микроволновой плазмы для удаления фоторезиста при групповой обработке полупроводниковых пластин

DOI: 10.22184/1992-4178.2017.162.2.180.184

Наноиндустрия #3/2011
А.Алексеев, К.Крупальник, Н.Корнилов
Быстрый нагрев и охлаждение образцов в управляемой газовой среде

Термическая обработка полупроводниковых пластин – важный этап многих технологических маршрутов при формировании приборов микроэлектроники, предъявляющий повышенные требования к лабораторному и промышленному оборудованию. Важнейшие характеристики такого процесса: скорость и однородность нагрева/охлаждения образцов, максимальная температура, время обработки, управляемые параметры газовой среды. Для реализации подобного процесса необходимо универсальное оборудование, обеспечивающее высокие значения его важнейших технологических параметров.