Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "оао "кбтэм-омо""

Электроника НТБ #3/2016
C.Аваков, Е.Дрогун, С.Карпович, Д.Титко, В.Шоломицкий, В.Овчинников
Оптико-механические оборудование для бездефектного изготовления фотошаблонов

Интегрированный подход к созданию отечественного оптико-механического оборудования для изготовления фотошаблонов для производства микросхем уровня 350 нм и 90 нм дает ряд преимуществ, обеспечивающих максимальную эффективность затрат.