Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "power efficiency"

Электроника НТБ #6/2011
В.Берлин, В.Киреев, Д.Челапкин
Специальное технологическое оборудование для производства микросхем. Критерии эффективности и конкурентоспособности

Эффективность и конкурентоспособность специального технологического оборудования (СТО) для производства интегральных микросхем (ИМС) или других изделий микроэлектроники определяется совокупностью себестоимости (общих затрат) на единицу продукции операции, реализуемой на оборудовании. В свою очередь себестоимость операций, проводимых СТО, зависит как от характеристик установки и проводимой на ней операции, так и от задаваемых государством цен, налогов, пошлин. Так каковы составляющие себестоимости? Каковы возможности и особенности создания в России конкурентоспособного на мировом рынке СТО? Каковы критерии энергетической эффективности установок, систем и процессов? Попробуем дать отсветы на эти вопросы на примере СТО для реализации вакуумно-плазменных технологических процессов.