Электроника НТБ #5/2012
В.Майская
МЭМС РЫНОК. Стойкий продолжительный рост
Разумные, дешевые и, конечно, малогабаритные МЭМС-датчики и исполнительные механизмы (актюаторы) "штурмуют" сектор потребительской электроники, проникая на рынки традиционных бытовых устройств. Ожидается, что в ближайшее время они проложат путь к формированию обширной сети, получившей название "Интернет вещей" (Internet of Things, IoT) и состоящей из триллионов соединенных между собой сенсоров и актюаторов, контролирующих и управляющих практически всеми человеческими действиями. В итоге при совокупных темпах годового прироста рынка МЭМС 12–15% можно ожидать, что к 2046 году объем их продаж достигнет 1 трлн. долл.
Электроника НТБ #4/2011
А.Тузов
Датчики для измерения параметров движения на основе МЭМС-технологии Часть 2. Инерциальные датчики высокой точности
В первой части статьи* были рассмотрены инерциальные датчики и модули, выполненные по МЭМС-технологии и обладающие средними для приборов данного класса характеристиками. Такие приборы применяются в системах, критичных к стабильной работе датчиков в жестких условиях эксплуатации (автомобильные системы стабилизации подвески, резервные навигационные приборы для малой авиации и беспилотных летательных аппаратов и др.), где требования к точности измерения параметров движения не очень высоки. Для более точных измерений производители предлагают инерциальные измерительные приборы с улучшенными характеристиками. Рассмотрим некоторые из них.